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微电子学系招收微电子学与固体电子学专业（学硕）、电子与通信工程专业（专硕）以及凝聚态物理专业（半导体器件与工艺物理方向）的博士研究生，已培养硕/博士研究生300余名。
新的微电子学教研室于1999年建立，拥有微电子平面工艺实验室、微电子器件分析测试实验室和集成电路设计实验室供研究生学习和研究实验使用。微电子教研室主要涉及：数模混合集成电路设计、生物信号检测系统集成化设计、半导体器件辐照效应及抗辐照加固设计、功率半导体器件、太赫兹器件、MEMS、先进半导体材料和自旋物理、有机半导体材料及器件等领域的研究。
目前，微电子教研室与中国科学院的多个研究所、中国电科多个所以及国内多家IC设计公司建立了联合培养研究生的协作关系。
研究方向和导师
1. 超大规模集成电路设计
龚敏 教授 高博 副教授 黄铭敏 副教授
2. 微电子材料与器件工艺
龚敏 教授 张析 教授 张嗣杰 教授
马瑶 副教授 杨治美 副教授 黄铭敏 副教授
3. 微电子光学
杜惊雷 教授
